近日，由山东创谱光学仪器有限公司自主研发制造的TDH-4 精密应用型探针台，在松山湖材料实验室顺利完成安装调试与严格验收，正式投入科研使用。

本次交付系统为定制化集成方案，核心配置包括：

• TDH-4 探针台主体（整体位移精度3μm）

• 激光成像显微镜（搭配10X 近红外物镜，集成客户专用激光光源）

• 3μm 高精度探针座（满足微米级精准点针测试）

• 4 英寸真空吸附卡盘（适配晶圆级样品测试需求）

TDH 系列探针台是创谱仪器面向半导体、材料科学、光电测试等领域打造的高集成、高性价比精密测试设备，具备定位精准、操作便捷、兼容性强等优势，可高效完成半导体器件、新型功能材料的电学参数测试与微观表征工作。

此次合作，彰显了松山湖材料实验室对创谱仪器技术实力与产品品质的高度认可。未来，创谱仪器将持续深耕精密光机电测试设备领域，以研发创新、优质产品、高效服务为核心，为更多科研院所与产业客户提供定制化解决方案，助力我国新材料与半导体产业高质量发展。