TDH-D系列电动探针台

电动探针台是一种在半导体、光电等领域广泛应用的精密测试设备；通过电机驱动系统，实现探针台的 X、Y、Z 轴等方向的精确移动和定位，使探针能够准确地对准样品上的测试点。当探针与样品接触后，可将样品的电信号传输到外部的测量仪器，如示波器、万用表、半导体参数分析仪等，从而对样品的电学特性进行测量和分析，如电流、电压、电阻、电容、电感等参数；配合的是五相步进电机，可以运动手轮操作，也可以软件操作，实现自动控制，该系列均采用高精度电动控制，非常适合手套箱集成的操控。目前已在多个科研实验室投入使用。

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技术参数：

◆模块化设计，可以搭建不同构件完成不同测试

◆探针台整体位移分辨率1.5μm，样品XYZR四维电动调节

◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试

◆大尺寸机身结构，增强操作舒适度。更大空间的针座平台，支持加载针卡，提升点针测试效率

◆探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计

◆漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）

◆1微米以上电极/PAD使用

◆半圆形加宽探针架，可以放置6个DC探针座/4个RF探针座

◆全系列搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式

◆多轴运动控制器，匹配三通道运动手轮组，交互界面可以同时显示每个轴的运行参数，操作直观，无需频繁的切换。既可以独立的操作某一个轴，也可以多个轴组合运动；支持二次开发

◆集成24寸4K显示器以及显示器万向支架，实时观测，也可集成笔记本电脑支架，方便放置笔记本电脑

◆多被用于科研院校搭建测试系统，例：材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等等

技术参数：

型号		TDH-D4	TDH-D6		TDH-D8		TDH-D12
样品卡盘	卡盘尺寸	4英寸	6英寸		8英寸		12英寸
	吸附孔	4个	4个		5		5/6个
	样品固定方式	环形真空吸附（可定制多孔吸附）
	真空吸附	进口无油真空泵，7L/min
	背电极功能	可引出背电极
	卡盘材质	不锈钢（可选紫铜镀金、紫铜镀镍）
电动样品台	X-Y轴电动调节行程	110110mm/4英寸4英寸		110110mm/6英寸6英寸		110110mm/8英寸8英寸		110110mm/12英寸12英寸
	位移精度	±1.5μm
	R轴	360°旋转（粗调）；±5°精密调节
	Z轴	行程10mm
	运动控制器	匹配五相步进电机，具备机械限位以及零位
	控制方式	软件、运动手轮组
针座平台	外形尺寸	300*150mm/U型尺寸
	材质	加厚铁磁不锈钢，表面镀铬处理，增加针座吸附力，超高平面度，保证测试精度
	针座定位方式	磁力吸附（可以升级真空吸附）
	卡盘到平台距离	8mm（卡盘上表面与针座平台下表面）
	针座数量	最多可放置6个DC探针座/4个RF针座				最多可放置10个DC探针座/6个RF针座
成像方式	显微镜规格	标配金相显微镜（可选配体式显微镜、单筒金相显微镜、激光成像显微镜）
	物镜	标配2X、5X、10X、20X、50X（可选配100X）
	物镜转换器	手动款/电动款
	放大倍数	20-500倍纯光学放大
	CCD像素	2000W高清像素
	运动控制/调焦	Z 轴移动行程 50.8 mm，同轴旋钮调节，细调精度优于 1μm
	显微镜位移行程	XY行程25mm*25mm，分辨率3μm/可升级为电动款
	显示器	24寸4K高清显示器，HDMI高清接口
探针座规格	X-Y-Z行程	13mm-13mm-13mm
	机械精度	10μm/3μm/1μm/0.7μm（可升级电动）
	漏电精度	10pA/100fA （配置屏蔽箱时）
	接口形式	香蕉插头、鳄鱼夹、BNC、SMA、N同轴接口/三同轴接口
	安装方式	可调磁力吸附/真空吸附/螺丝固定安装

实物图1 实物图2 实物图4 实物图3

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