在科研设备供应领域，山东创谱光学仪器有限公司（以下简称 “创谱仪器”）近日成功为上海大学供货一套 TDH 精密应用型探针台，且该设备已顺利通过验收，正式投入使用。

上海大学作为国内知名高等学府，在科研工作中对实验设备的精度与功能性有着严苛要求。此次采购的 TDH 精密应用型探针台，正是为满足其在半导体、材料学等相关学科研究中的关键需求。

创谱仪器自主研发的 TDH 系列探针台，以其结构小巧、功能实用、成本效益高等优势，在市场上脱颖而出。该系统涵盖了光学成像部分、光学底座、探针座、四维调整系统以及真空吸附系统等核心组件。特别是其独立的三个精密探针座，能够与数字源表等设备协同作业，实现对二极管、晶体管、场效应管、晶圆级器件等多种材料的 I/V、c/v、电阻、电容等参数的精准测试。

在实际应用中，TDH 精密应用型探针台展现出卓越性能。其可用于 12 寸以内样品测试，兼容高倍率电子显微镜，具备 360° 旋转和微调升降功能，极大地方便了科研人员对样品的多角度观察与测试。同时，精密丝杠 / 燕尾传动结构保证了线性移动与精密位移，无回程差设计更是确保了测试数据的准确性。在漏电流精度方面，达到了 10pA/50fa（屏蔽箱内）的高水准。而且，该探针台采用模块化设计，可依据不同应用场景灵活增加或去除相应模块，充分满足多样化的科研需求。

上海大学相关科研团队在使用该探针台进行一系列实验后反馈，TDH 精密应用型探针台不仅操作便捷，还显著提升了实验效率与数据可靠性，为他们的科研项目推进提供了有力支持。

此次创谱仪器为上海大学成功供货并验收的 TDH 精密应用型探针台，将持续助力上海大学在科研领域不断探索创新，也为双方未来更深入的合作奠定了坚实基础。同时，这一案例也充分彰显了创谱仪器产品在科研院校中的良好适用性与卓越品质。

上海大学探针台配置：

1.600*900mm光学面包板，高稳定性探针架，四维手动位移台，XY轴行程110mm，Z轴行程10mm，整体分辨率3微米，360°旋转可锁紧

2.3套10微米高精度探针调整座，XYZ轴行程分别是13mm+180°旋转+精密60°角度倾斜（可锁紧）

3.三目体式显微镜，采用 SWH10X 高眼点超广角目镜，视场Φ23mm，可放大至270倍左右，集成显微镜 XY 移动装置，行程 25×25mm，分辨率 3 微米，24英寸高清专业显示器，匹配显示器万向支架

4.4英寸真空吸附卡盘，匹配真空泵，有4个单独的吸附孔道，独立的真空吸附开关

5.匹配光电屏蔽罩，上下开门设计，和探针台匹配，内有多个预留口，方便后期测试模块化集成，带有 3 个美国原装进口三同轴馈通件，方便把探针座和外部源表连接