电动二维材料转移系统

型号（Model）

MT10D系列

加热衬底载物台

中间载物平台1英寸；双环形孔道，增强吸附能力

集成静音微振动制冷风扇，可以单独控制

加热室温-200℃ （极限240℃），PID控温，稳定性小于±0.1℃

匹配快速拉伸台，可以快速抽拉放置样品后锁紧

XYR三轴电动调节，XY行程20mm，最大速度是10mm/秒，R轴位精密旋转轴，运动形式为蜗轮蜗杆+交叉滚珠导轨，可360°旋转

载玻片移动台

采用真空吸附式固定，方便操作，单独的吸附开关

支持XYZR四轴电动调节，XYZ轴行程均为20mm，R轴采用精密导轨可以360°旋转，0.1°精密微调

集成水平仪，方便实时观察样品台和载玻片平台的水平位置变化

显微观察系统

龙门式固定，保证运行精度以及稳定性

匹配高分辨率金相显微镜，选用95mm消色差长焦物镜并带五孔鼻轮支架，标配5个金相物镜，分别是2X，5X，10X，20X，50X；纯光学放大，微米级器件成像也是非常清楚

电动XYZ三轴调节，XY轴行程是40*40mm，Z轴升降行程是50mm，精度0.5μm，电机均带刹车功能

4K输出显示；集成24寸4K显示器以及显示器万向支架

系统光学成像

集成2000W像素显微成像相机，超高灵敏度，提供显微镜相机操作软件

分辨率1920*1080，且匹配全高清专业显示器

30fps速度保存；HDMI输出；曝光时间0.4ms~999ms，自动白平衡；支持WIFI数据传输；提供显微相机操作软件，支持电脑控制，可软件测量显微样品尺寸及角度

控制部分

模块式桌面式真空泵，集成日本进口真空泵，7L/min，带有真空开关

模块式PID温控器，带有单独加热开关

高分辨率高扭矩五相步进电机，10轴运动控制器，匹配三通道运动手轮，它可以控制显微镜组、载玻片组、样品台组；操作起来比较直观，不用频繁切换。既可以独立的操作某一个轴，也可以多个轴组合运动；含有上位机软件，可以支持咱们二次开发

客户选配

①集成我司探针台，增加扎针测试功能，一机多用

②光纤端面材料转移模块

③快速升降温模块

④多物镜配置（配置多种倍数物镜，物镜转盘切换）

⑤配套高精度气浮隔振平台

⑥集成光电测试，延申模块化应用