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电动二维材料转移系统

高精度电动二维材料转移系统是我司根据客户应用自主研发的低维材料异质结器件转移产品,适用于石墨烯,硫化钼,黑磷等单层材料精确定点转移,以及多层范德华异质结的制备,实现了低维材料转移的可视化操作;配合的是五相步进电机,可以运动手轮操作,也可以软件操作,实现自动控制,该系列均采用高精度电动控制,非常适合手套箱集成的操控。目前已在多个科研实验室投入使用。
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  • 产品特点:

    整体高度集成,系统整合在光学隔振台上,保证稳定性的同时提高隔振性能,底部可升降隔振地脚,适用于多种测试环境

    龙门式固定,保证运行精度以及稳定性,电动XYZ三轴调节;三轴均采用交叉滚珠导轨

    匹配TBI丝杆,保证精度,电机均带刹车功能

    样品台加热是从室温-200℃,PID控温,加热精度0.1℃,集成静音制冷风扇,可快速降温

     显微转移操作平台支持XYZR四个轴电动调节,XYZ三轴行程均为20mm;R轴可以360°旋转,0.1°精密微调

    载玻片移动台集成水平仪,且具备角度微调装置,可锁紧,方便对准样品,准确转移

    10轴运动控制器,匹配三通道运动手轮组,交互界面可以同时显示每个轴的运行参数,操作直观,无需频繁的切换。既可以独立的操作某一个轴,也可以多个轴组合运动;支持二次开发

    集成24寸4K显示器以及显示器万向支架,实时观测,也可集成笔记本电脑支架,方便放置笔记本电脑

    技术参数:

    型号(Model)

    MT10D系列

    加热衬底载物台

    中间载物平台1英寸;双环形孔道,增强吸附能力

    集成静音微振动制冷风扇,可以单独控制

    加热室温-200℃ (极限240℃),PID控温,稳定性小于±0.1℃

    匹配快速拉伸台,可以快速抽拉放置样品后锁紧

    XYR三轴电动调节,XY行程20mm,最大速度是10mm/秒,R轴位精密旋转轴,运动形式为蜗轮蜗杆+交叉滚珠导轨,可360°旋转

    载玻片移动台

    采用真空吸附式固定,方便操作,单独的吸附开关

    支持XYZR四轴电动调节,XYZ轴行程均为20mm,R轴采用精密导轨可以360°旋转,0.1°精密微调

    集成水平仪,方便实时观察样品台和载玻片平台的水平位置变化

    显微观察系统

    龙门式固定,保证运行精度以及稳定性

    匹配高分辨率金相显微镜,选用95mm消色差长焦物镜并带五孔鼻轮支架,标配5个金相物镜,分别是2X,5X,10X,20X,50X;纯光学放大,微米级器件成像也是非常清楚

    电动XYZ三轴调节,XY轴行程是40*40mm,Z轴升降行程是50mm,精度0.5μm,电机均带刹车功能

    4K输出显示;集成24寸4K显示器以及显示器万向支架

    系统光学成像

    集成2000W像素显微成像相机,超高灵敏度,提供显微镜相机操作软件

    分辨率1920*1080,且匹配全高清专业显示器

    30fps速度保存;HDMI输出;曝光时间0.4ms~999ms,自动白平衡;支持WIFI数据传输;提供显微相机操作软件,支持电脑控制,可软件测量显微样品尺寸及角度

    控制部分

    模块式桌面式真空泵,集成日本进口真空泵,7L/min,带有真空开关

    模块式PID温控器,带有单独加热开关

    高分辨率高扭矩五相步进电机,10轴运动控制器,匹配三通道运动手轮,它可以控制显微镜组、载玻片组、样品台组;操作起来比较直观,不用频繁切换。既可以独立的操作某一个轴,也可以多个轴组合运动;含有上位机软件,可以支持咱们二次开发

    客户选配

    ①集成我司探针台,增加扎针测试功能,一机多用

    ②光纤端面材料转移模块

    ③快速升降温模块

    ④多物镜配置(配置多种倍数物镜,物镜转盘切换)

    ⑤配套高精度气浮隔振平台

    ⑥集成光电测试,延申模块化应用

    实物图1实物图2实物图4实物图3