ZR系列高温探针台

结构紧凑，功能实用，高性价比漏电精度100fA（吉时利2636B实测）PID控温，可加热至300℃

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产品摘要
ZR系列基础型组合探针台，模块化设计，系统每个模块都可增可减，可以增加光路等满足不同测试；优点：超高性价比，模块化设计；缺点：台体行程较小，且系统集成度略差
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台，以达到更好得使用效果和性价比。
技术特点
◆最大可用于12寸以内样品测试
◆探针台整体位移分辨率3μm，样品XYZR四维调节
◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试
◆PID控温，可加热至300℃，控温精度±1℃，有效区域温度均匀性±5℃
◆1微米以上电极/PAD使用
◆加宽探针架，可以放置6个DC探针座/4个RF探针座
◆全系列搭配显微镜XY精密移动功能，可以选配多种位移行程以及驱动形式
产品应用
多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等；
规格参数

功能组件