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手动探针台的使用方式是怎样的?
时间:2022-05-24 19:03:24 阅读:1 来源:创始人

  手动探针台适用于芯片的科研分析、抽查测试等。广泛应用于科研单位研发测试、高校教学运行、企业实验室芯片失效分析等领域。通常用在研发测试阶段,批量不是很大的状况下,大批量重复测试推荐探卡。手动探针台主要功能:搭配外接测试测半导体参数测试仪、示波器、栅分仪等外接测试源仪表,测量半导体器件的IV CV脉冲/动态IV等参数。那手动探针台的使用方式是怎样的?

  如何使用手动探针台:

  1.将样品装入真空吸盘,打开真空阀的控制开关,使样品安全牢固地吸附在吸盘上。

  2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,并在显微镜低倍物镜下清晰地观察样品。

  3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,将待测样品点移至显微镜。

  4.将显微镜切换到高倍物镜,在高倍下找到要测量的点,然后微调显微镜焦点和样品x-y,以清晰地调整图像,测量点位于显微镜视野的中心。

  5.待测点的位置确定后,调整探头底座的位置。探头安装好后,将探头移动到靠近待测点的位置,然后使用探头底座的三个微调旋钮X-Y-Z将探头缓慢移动到待测点。此时要小心慢行,防止芯片运动过度受伤。当探头尖端悬在被测点上方时,可以先用Y轴旋钮将探头向后移一点,然后再用Z轴旋钮。

  6.在确保针尖与被测点接触良好后,可以通过连接的测试设备开始测试。

  探针台应放置在坚固稳定的工作台上。如果有震动的情况,就要配置主动防震装置,避免在高温、潮湿、震动剧烈、阳光直射、灰尘多的环境中使用。

  以上就是关于手动探针台使用方法的介绍,大家在实际操作时,应按照正确的步骤进行。