Menu
探针座/定位器选型
时间:2022-03-24 00:13:32 阅读:6 来源:chuangpu

由于现在半导体业的蓬勃发展,导致用于芯片研发或生产的需求越来越明确,日前市场上也应运而生了很多厂家,他们开始生产可搭载在探针台上使用的探针座来满足不同客户群体的需求;可探针座(定位器)的选择一直是困扰大家的难题,接下来,创谱仪器从几个方面给大家详细讲解!

 首先,探针座其实就是一个可实现对加载探针进行X、 Y、Z三维移动的机械位移台(如果足射频或光测试可能会多几个维度),底座可选用磁性吸附、真空吸附、机械安装孔的方式固定在探针架/探针台上,头部通过搭我司不同夹具即可实现直流、射频、光等附件的连接。

 探针座驱动部分分为分为两种:精密微分头、细牙螺纹副;前者使用周期长,精度取决于千分尺,CHPUIST定制细牙微分头,可以把分辨率提高到1μm;后者精度取决于螺纹间隙,相对前者使用寿命短些;

探针座根据应用划分为:直流探针座、射频探针座、光电探针座
探针座选型

那么到底什么样的探针座才是最适合我们的呢?
①首先我们要确定自己的待测芯片PAD(探针扎针处)大小,咱们以100μm×100μmPAD尺寸为例,对于直流探针就要选择1/10 PAD长度左右的探头且移动精度为1/9-1/15PAD长度即可,也就是说选择10um针尖的探针,并配合10um精度的探针座即可

②对于射频器件测试而言,我们首先要选择探针座的移动精度为1/10PAD最小宽度以上,同时需要注意探针座的稳定性,因为射频测试扎针的稳定性和一致性非常重要,由于射频测试时搭载的探针为“GS"或“CSG",有时候还会遇到“GSGSGSG"这种多点探针,在扎针时候需要在视野内平稳且清晰的下针,这样好判断每一根探针是否良好的与PAD按触,以此保证接触时产生的寄生参数一致。

③对于射顿探针座还有一个探针头部活动问题,射频探针扎针前必须要和DUT平行,这就需要器件之间精度配合要精准,必要时需要添加一个角度装置来作为补偿。