利用探针台测量半导体表征参数离不开测试探针的使用。提供四种类型的探针：普通直流探针，同轴直流探针，有源探针和微波探针。在使用过程中，探针表面可能会沾上样品上的灰尘或氧化层，继续使用可能会影响测试数据的可靠性。但如果报废，尤其是微波探头，将大大增加用户的耗材成本。在此，我们教大家三种方法，轻松去除探头上的“顽固污渍”，延长探头耗材的使用寿命。

　　1.刷子清洗法

　　适用范围：5微米以上探头及微波探头。不适用于针尖直径在5微米以下的软针。

　　取一张A4白纸撕成细长的条状，最好撕成细长的三角形(约5cm高)。将待清洗的探头安装在探头夹具上，置于显微镜下(立体显微镜即可，放大倍数太高无法操作)，用撕破的纸尖当刷子，轻轻刷去探头尖上的污垢。

　　2.压针清洗法

　　适用范围：关键因素的所有探针，当灰尘接近探针尖端时。

　　取一张A4白纸，剪成样品台大小(或适当大小)，固定在样品台上。将待清洗的探头安装在探头夹具上，放置在显微镜下。慢慢按探头。探针接触白纸后，按下图所示的方向向后移动探针。试着走到探头几次，灰尘就掉下来了。

　　3.超声波清洗法

　　适用范围：所有探针。

　　将适量蒸馏水放入烧杯(烧杯大小适合用户操作)，放入超声波清洗机。打开超声波清洗机，然后将探头握在手中(注意戴丁腈手套)，将针尖放入蒸馏水中，让震动抖掉灰尘。你可以每隔一两分钟用显微镜观察一次，直到尘埃落下。把探头在适当位置晾干后再使用。请注意，如果微波探头被清洗，探头必须让它整晚晾干。