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如何清洁探针台探针才能延长探头耗材的使用寿命
时间:2022-02-10 16:56:52 阅读:10 来源:创始人

  利用探针台测量半导体表征参数离不开测试探针的使用。提供四种类型的探针:普通直流探针,同轴直流探针,有源探针和微波探针。在使用过程中,探针表面可能会沾上样品上的灰尘或氧化层,继续使用可能会影响测试数据的可靠性。但如果报废,尤其是微波探头,将大大增加用户的耗材成本。在此,我们教大家三种方法,轻松去除探头上的“顽固污渍”,延长探头耗材的使用寿命。

  1.刷子清洗法

  适用范围:5微米以上探头及微波探头。不适用于针尖直径在5微米以下的软针。

  取一张A4白纸撕成细长的条状,最好撕成细长的三角形(约5cm高)。将待清洗的探头安装在探头夹具上,置于显微镜下(立体显微镜即可,放大倍数太高无法操作),用撕破的纸尖当刷子,轻轻刷去探头尖上的污垢。

  2.压针清洗法

  适用范围:关键因素的所有探针,当灰尘接近探针尖端时。

  取一张A4白纸,剪成样品台大小(或适当大小),固定在样品台上。将待清洗的探头安装在探头夹具上,放置在显微镜下。慢慢按探头。探针接触白纸后,按下图所示的方向向后移动探针。试着走到探头几次,灰尘就掉下来了。

  3.超声波清洗法

  适用范围:所有探针。

  将适量蒸馏水放入烧杯(烧杯大小适合用户操作),放入超声波清洗机。打开超声波清洗机,然后将探头握在手中(注意戴丁腈手套),将针尖放入蒸馏水中,让震动抖掉灰尘。你可以每隔一两分钟用显微镜观察一次,直到尘埃落下。把探头在适当位置晾干后再使用。请注意,如果微波探头被清洗,探头必须让它整晚晾干。