CPPT-QA型气浮光学隔振平台

产品摘要

当外界振动源或者负载发生变化时，为了保持良好的隔振效果，通常可以通过改变空气压力和改变空气弹簧的行程来实现；改变空气压力通过气浮支架的油水分离器来实现，改变空气弹簧行程通过气浮支架的高度调节螺杆来实现。

创谱仪器精密气浮隔振平台根据台面的不同，分为铁磁不锈钢台面气浮隔振平台和大理石精密气浮隔振平台。

技术特点

◆台面整体采用三层夹心结构，上台面为410铁磁不锈钢，中心为蜂窝/井字钢支撑结构，底板为碳钢，在保证隔振性能得同时，提高了刚性、稳定性，台面精磨

◆气浮支架采用囊式空气弹簧，每个支撑腿配备由单独气室，采用整体焊接四支撑结构，下方为阻尼隔振垫，隔振性能好

◆气浮支架底部带有高度调节功能，可以解决地面不平引起的支架扭曲、变形等情况

◆采用原装德国FESTO空气伺服系统, 自动调整水平,台面的高度由空气调节阀在桌面运动的激励下维持和控制，把系统对微振的响应反馈到系统中, 改变隔振特性,当负载沿工作表面移动或发生突然变化时能够使台面自动维持水平.瞬间达到初始的平衡状态,提高光学隔振平台的隔振效果

◆标配静音空气压缩机，工作压力为0.35～0.6Mpa，标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作

◆水平方式：自动充气，自动平衡

◆隔振方式：囊式空气弹簧

◆平面度：≤0.03mm/600mm×600mm

◆固有频率：垂直1.2Hz-1.8Hz，水平1.2Hz-1.8Hz

◆振幅：≤1.2μm

◆重复定位精度：±0.05mm

◆台面厚度：100/200/300mm

产品应用

◆显微镜系统 ◆激光测试 ◆光学制造 ◆光电仪器研发与测试 ◆生物医疗 ◆精密机械制造 ◆精密化工和无损检测 ◆激光干涉 ◆全息曝光 ◆集成电子电路 ◆拉曼光谱实验 ◆精密检测校准 ◆对振动要求极高的仪器设备

规格参数