PH综合表征分析探针台

产品摘要

在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低的简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：显微镜位移装置，探针测试系统，探针台台体，显微成像系统，高精度样品台；    

创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台，以达到更好得使用效果和性价比。

技术特点

◆两边半圆形探针架，可以放置最多6个探针座，且方便放置探针卡集成4路吸附开关，方便吸附

◆可用于12寸以内样品测试XY行程115mmX115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调

◆1微米以上电极/PAD使用

◆可用于硅封装的内部观测和光谱特性分析，需要红外光源和红外摄像机

◆有效像素2000万，有效像素1600 (H)*1200 (V) 可以拍照录像，也可以连接电脑

◆HDMI输出支持: 1280*1024 (默认)、1680X1050、1440*900

◆选用2X，5X，10X,20X，50X四种物镜,工作距离分别是: 34.6mm，45mm，34mm;30.8mm，20.5mm，鼻轮支架带五孔鼻轮

◆集成高精度高稳定性手动位移台,XYZ行程50mm，精度lum

◆整体交叉滚珠导轨，超高精度，超高稳定性

◆模块化设计，调节精度 3 微米，可调磁性吸附固定

◆最大电压 1400V，阻抗 50 欧姆XYZ 轴行程分别是 13mm行程

◆位移放置:XYZR四轴调节XY行程115X115mm，Z轴调节10mm，360°旋转粗调+士5°精调

◆整体位移精度lum,(根据客户要求定制生产)

◆多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等；

功能组件

规格参数