JR系列便携式探针台

产品摘要

在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低的简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；

技术特点

◆样品台XYZR四维调节，XY行程根据样品台尺寸/晶圆尺寸而定，Z轴行程10mm，XYZ整体分辨率3μm，360°旋转粗调可锁紧

◆兼容多种光学显微镜，可以引入光路，完成光电mapping测试    

◆整体尺寸小，方便携带，底部隔振地脚，提高测试稳定性

◆漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内）

◆探针采用进口交叉滚珠导轨/精密燕尾槽，线性移动，无回程差设计

◆1微米以上电极/PAD使用

◆U型探针架，可以放置多个探针座

产品应用

多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等；广泛用于科研院校以及公司！

规格参数

功能组件