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ZH系列组合式探针台

在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试得探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧,功能实用,成本较低得简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;
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  • 产品摘要

    在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试的探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧,功能实用,成本较低的简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;    

    创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好得使用效果和性价比。

    技术特点

    ◆结构紧凑,功能实用,高性价比

    ◆可用于12寸以内样品测试    

    ◆1微米以上电极/PAD使用

    ◆兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜,可360°旋转和微调升降

    ◆漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)

    ◆精密丝杠/燕尾传动结构,线性移动,无回程差设计

    ◆应用于高等院校/研究所/公司实验室使用

    ◆模块化设计,可以根据应用增加和去除相应模块

    产品应用

    多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等;

    规格参数

    ZH系列探针台参数_01

    功能组件

    产品展示-淘宝_00_看图王_看图王222