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ZH系列组合式探针台

在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试得探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧,功能实用,成本较低得简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;
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