一、探头站操作步骤:
1.将测试品放在探针台的桌板上;
2.打开显微镜光源灯(LED或光源机);
3.打开背光面板的光源开关;
4.调整Z axis高度对焦,使能清楚看到样品图象为OK;
5.调整目镜和变焦倍率,使图像清晰;
二、进针操作步骤:
1.通过移动镜头组找到Sample想要铺针的地方;
2.调整针座位置,三轴归零;
3.调整针座升降机构,使针尖位于显微镜发出光斑中心上方1-2mm;
4.用低倍镜找到针尖,通过调整焦距将针尖移至视野中心并使针尖*清晰;
6.切换到高倍镜,找到针尖;
7.利用针座X-Y-Z轴对针进行微调;
8.测量完成后,逆时针旋转针座升降机构旋钮,快速向上提针,即可将针尖从样品上取下;移动持针平台或显微镜相关移动机构时,请注意避免与镜片或被测物碰撞
9.拆下针座,取出样品。
10.关闭背光面板光源和光源灯的电源。