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手动探针台的维护保养以及使用方式是怎样的
时间:2022-08-19 15:46:16 阅读:1 来源:创始人

    手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,它的出现给我们带来了很大的便利,那大家对于它的知识了解多少呢?为了能够帮助大家更加方便的了解和应用,接下来让我们的工作人员来给大家简单介绍一下手动探针台的使用方式以及维护保养。

    手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,它的出现给我们带来了很大的便利,那大家对于它的知识了解多少呢?为了能够帮助大家更加方便的了解和应用,接下来让我们的工作人员来给大家简单介绍一下手动探针台的使用方式以及维护保养。

    手动探针台维护和保养:

    1、避免碰撞:在安装,操作CS探针台时应避免碰撞,机体放置需平坦,不可倾斜或横倒,避免机器发生故障或异常异音。

    2、仪器的运输:仪器运输时,请先拔掉电源线插头。仪器运输应使用专门的包装箱,避免碰到探针台的任何运动部件。

    3、仪器的存放:使用完后需要注意保持清洁,尽量把灰尘吹干尽,以免灰尘将机械细致部件,光学部件,电学接触面污染,导致仪器精度降低。探针台机体清洁时,避免直接泼水清理,以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器,以免发生故障或危险。探针台光学部件清洁时,可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物,注意使用。停电或长期不用、外出旅行时,请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员需要严格按要求操作,以保证数据的准确和仪器的正常使用。

    4、工作环境:探针台应放在稳定可靠的台面上,尽量是具有防震装置的工作台上,避免在高温,潮湿激烈震动,阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用较佳温度范围为5℃~40℃,较佳湿度是百分之40到百分之85,空气中之湿度若低于百分之30以下,可靠湿度控制器予以控制,使维持百分之50~百分之60之范围。使用时门窗尽可能关闭,使室内达到除湿效果。

    使用方式:1、将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品牢固地吸附在卡盘上。

    2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。

    3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。

    4、显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中间。

    5、待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,然后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。

    6、确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。

    手动探针台的使用方式和维护保养就先给大家介绍到这里了,希望大家在使用的过程中可以按照以上方式进行操作,避免出现不必要的损失,感谢您的观看和支持,后期小编会继续为大家整理更多知识,敬请期待。