Menu
探针台-半导体检测利器
时间:2022-08-11 17:18:19 阅读:3 来源:创始人

  探针台是半导体行业最重要的测试设备之一,广泛应用于复杂高速器件的精密电气测量,以确保质量和可靠性,减少开发时间和器件制造过程成本。

  根据生产工艺的不同,半导体测试可分为验证测试、晶圆测试和封装测试三类。探针台主要用于晶圆制造过程中的晶圆检测、芯片开发和错误分析。除了探针台,晶圆检测过程还需要使用测试仪/机器,测试仪/机器用于检测芯片的功能和性能,探针台实现被测芯片与测试仪的连接 •通过探针台和测试仪可以对晶圆上的裸芯片进行功能和电参数测试或射频测试,可以对芯片的好坏产品进行分类。

  探针台由哪些部分组成?

  1.样品台(载物台)

  平台是定位晶圆或芯片的组件设备。晶圆的尺寸通常根据晶圆的大小进行设计,并调整相应的精准移动定位功能。

  2.光学元件

  这部分的目的是在视觉上放大被测物体,以将探针尖端精确对准并放置在被测晶片/芯片的测量点上。

  3.卡盘

  对于非常平坦的金属表面,卡盘使用夹具来固定被测物体或使用真空来固定晶圆。

  探针台是如何工作的?

  探针台可以夹持晶圆或芯片,准确定位被测物体。手动探针台用户将探针臂和探针安装到机械手中,并使用显微镜将探针尖端放置在要检查的物体上的正确位置。一旦所有探头尖端都设置在正确的位置,就可以测试 DUT。

  对于多芯片晶圆,用户可以抬起将探针头与芯片分离的板,然后将平台移动到下一个芯片,使用显微镜找到确切位置,然后放下板。可以测试一个芯片。半自动化和全自动井站系统使用机械化工作台和计算机视觉来自动化这一移动过程并提高井站生产力。

  探针台的作用是什么?

  探针台可以在硅片上放置电探针、光学探针或射频探针,以便与测试仪器/半导体测试系统配合测试芯片/半导体器件。

  晶圆检测是半导体制造中必不可少的步骤,选择合适的晶圆检测台和探针进行晶圆检测也很重要。