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高低温真空探针台的技术指标及主要功能
时间:2022-04-08 10:35:58 阅读:6 来源:创始人

  高低温真空探针台是一种用于电子与通讯技术范畴的工艺实验仪器。

  高低温真空探针台技术指标:

  1、六个探针臂接口,可以装置六个探针臂。

  2、一个CF40真空抽气口,一个疾速破真空进气口。

  3、载物Chuck温度范围:4K-500K;CF法兰接口,零碎极限真空优于5*10-6Pa。

  4、漏率优于:1.3*10-10Pa.M3/s;探针X-Y-Z三方向挪动,行程:25.4mm,定位精度:10μm。

  5、双屏蔽chuck高低温时到达100FA的测试精度。

  高低温真空探针台主要功能:

  可以完成样品在高温真空环境的测试,完成样品在10-4PA真空度,4.2K到480K恣意温度点的准确电学测量,可完成直流和微波(40GHz)的测量。