晶圆探针台应放在稳定可靠的台面上，最好是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。

　　使用最佳温度范围为5℃～40℃，最佳湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果。

　　使用电源：220±10%，50~60Hz

　　使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。

　　晶圆探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。

　　晶圆探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。

　　停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。

　　操作人员必须严格按要操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。