高低温真空微波探针台是一种用于电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2016年10月16日启用。

　　技术指标

　　六个探针臂接口，可以安装六个探针臂。2、一个CF40 真空抽气口，一个快速破真空进气口。3、载物Chuck 温度范围：4K-500K ;CF法兰接口，系统极限真空优于5*10-6Pa。4、漏率优于：1.3*10-10Pa.M3/s;探针X-Y-Z三方向移动，行程：25.4mm，定位精度：10μm。5、双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度。

　　主要功能

　　能够实现样品在低温真空环境的测试，实现样品在10-4 PA 真空度，4.2K 到480K 任意温度点的精确电学测量，可实现直流和微波(40GHz)的测量。

　　高低温真空微波探针台的使用方式

　　1.将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。

　　2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。

　　3.显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。

　　4.待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针台探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针前进少许，再使用Z轴旋钮进行下针，最后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。

　　5.确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。