手动探针台是电子测试领域中一种重要的设备，用于对半导体芯片、集成电路、微电子器件等微观结构进行机械操作和电学测量。下面将介绍手动探针台的基本概念、工作原理、使用方法、校准和维护等方面的内容。

　　一、手动探针台的基本概念

　　手动探针台也称为手动探针显微镜或手动探针测试台，它主要由显微镜、X-Y-Z 手动操作台、探针座、样品台等组成。手动探针台主要用于在微观尺度上对电子元件和电路进行测量和检查，如电压降、电阻、电容、电感、电流、频率等参数。

　　二、手动探针台的工作原理

　　手动探针台的工作原理主要是通过手动操作X-Y-Z 三个方向的移动，使探针对准待测物，并通过显微镜观察和校准位置，确保测量准确可靠。手动探针台具有高精度的机械运动系统，能够实现纳米级别的精度。

　　三、手动探针台的使用方法

　　使用手动探针台需要以下步骤：

　　1. 将待测样品放置在样品台上，并确定待测区域。

　　2. 通过显微镜观察待测区域，并进行初步的校准和调整，使待测区域清晰可见。

　　3. 根据需要更换不同的探针，并根据探针类型和所要测量的参数进行调整。

　　4. 手动操作X-Y-Z 三个方向的移动，使探针对准待测物。

　　5. 进行测量并记录数据。

　　6. 测试结束后，将探针及样品恢复原状，以备下次使用。

　　四、手动探针台的校准和维护

　　为了保证手动探针台的测量准确性和稳定性，须进行定期的校准和维护。一般而言，校准主要包括机械系统的校准和电气系统的校准。机械系统的校准主要是检查机械运动是否顺畅，各轴是否有偏移或误差，以及各部件连接处是否有松动或磨损等现象。电气系统的校准主要包括光栅尺和编码器的校准，以确保运动精度和位置精度。维护方面主要是保持设备清洁和干燥，避免潮湿和污染，以及定期更换磨损部件等。