样品台(载物台)：是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小，并配套了相应的精密移动定位功能。

　　光学元件：这个部件的作用使得用户能够从视觉上放大观察待测物，以便精确地将探针尖端对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。有的采用立体变焦显微镜，有的采用数码相机，或者两者兼有。

　　探针(探针卡)：待测芯片需要测试探针的连接，才能与测试仪器建立连接。常见的有普通 DC 测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针等。探针头插入单个探针臂并安装在操纵器上。探针尖端尺寸和材料取决于被探测特征的尺寸和所需的测量类型。探针尖直接接触被测件，探针臂应与探针尖匹配。

　　射频探针：射频探针的本质为适配器，将芯片测量接口转为同轴或波导端口。常见的射频探针有GSG型、GS型、GSSG型等。射频探针的主要参数有高工作频率、探针针尖距(Pitch)等。目前，同轴接口的射频探针频率可达110 GHz(MPI目前适配安利的扩频模块可到220G)波导接口的射频探针频率高达1.1 THz，有一些型号的探针可以选配BiasTee。

　　校准：微波射频在片测试的校准主要是指S参数校准，可以通过使用校准片完成校准。一般的校准片提供开路(Open)、短路(Short)、匹配(Match)、直通(Through)和延迟线(Line)标准件，可完成TOSM校准或TRL校准或SOLT或SOLR或LRM等。

　　可以利用厂家提供的标准件参数，一般厂家提供的校准件参数包括开路电容、短路电感、负载阻抗及寄生电感、直通/延迟线电长度等，根据这些数据，可以在矢量网络分析仪中编辑校准件，完成校准。

　　探针夹具及电缆组件：探针夹具用于夹持探针、并将探针连接至测量仪器。电缆组件用于转接、延展探针夹具上的电缆组件。

　　操纵器(定位器)：探针台使用操纵器将探针放置在被测物上，它可以很容易地定位探针并快速固定它们。通常使用磁铁或真空把它们固定在适当的位置。一旦固定，操纵器可以在X、Y和Z方向上精确定位探针尖端，并且在某些情况下提供旋转运动。

　　网络分析仪：虽然传统网络分析仪也能有效地测量有源器件，例如放大器、混频器和转换器，但它们不能提供当前研发和生产工程师所渴望的精度、易用性和速度。而这些功能对于无线通信行业来说至关重要—在这些行业中，产品上市速度往往能够决定一家公司的成败。例如，在生产过程中，任何生产延期或产量下降都会极大影响公司在时间和成本方面的底线。另外，使用传统网络分析仪对众多不同元器件进行多种测量是一个漫长和乏味的过程，并且需要不断重新调整测试设备设置，使测试变得更繁杂。为此，当今的工程师需要一个更快、更高效的替代解决方案。