产品摘要
高温真空腔探针台系统主要用于为被测芯片提供一个高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化
腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件接触空气所带来的测试结果误差
我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置
整体高集成，高稳定性，高漏电精度，高性价比！
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台，以达到更好得使用效果和性价比！
技术特点
★真空获得方式：机械泵抽真空
★样品盘加热温度：最高300℃，温控精度±1℃
★测试漏电流精度：100fA
★探针调节精度：10μm（也可选择0.5μm，3μm，1μm精度）
★适用于样品尺寸：低于4英寸
产品应用
晶圆/半导体材料气敏测试，IV,CV,PIV测试，高温无氧化测试等
规格参数
CPPSSZ系列真空加热探针台配置单 | |
真空腔
| 尺寸320×230×210mm，材质优质铝合金，内表面电解抛光，外表面阳极氧化本色 |
上盖40直径石英观察窗，可开启，下表面可以和光学平台直接连接 | |
配有多个接口，2个KF16,4个KF25,一个备用充气口，一个旋转控制阀门，一个放气阀门口 | |
温控样品盘 | 尺寸4英寸，铝合金材质，平面度5微米 |
温控仪采用日本岛电温控器，显示精度0.1℃，温控精度±1℃，最高可达300℃ | |
探针座 | 10μm三维调节，可调磁力底座，万向调节夹具，配备美国进口爱默生线和进口三同轴接口 |
真空获得以及测量系统 | 采用成都睿宝真空计，安装1个全金属电阻规 |
真空泵选择合资机械泵，抽速6L/秒 | |
显微镜系统 | 放大倍数7-180倍无级调节，500万像素，搭配8寸显示器，匹配万向调节架和升降台，可以无级调节 |
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