产品摘要
高低温真空腔探针系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件接触空气所带来的测试结果误差；
因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转；
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，探针座位于腔体外部，可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置；
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台，以达到更好得使用效果和性价比！
技术参数及特点
★整体304不锈钢材质，4英寸石英窗口；
★控温范围：-142-600℃（如果高温300°以上需要另配水冷系统），控温精准可达到±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃；
★极限真空度优于5Pa；
★基座气浮平台，平面度＜0.1mm/㎡，振幅小于1.2um；
★探针位移重复定位精度2微米，分辨率3微米，单轴直线度±2微米；
★三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构；
★4英寸紫铜材质样品台，平面度5微米；
★500W像素CCD显微镜，分辨率2微米，可以连接电脑；
★整体高集成，高稳定性，高漏电精度，高性价比！
规格参数
高低温真空探针台标准详细配置清单 | ||
设备名称 | 详细配置清单本色 |
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真空腔体 CPPS-ZK-401 | •直径8英寸，高度7英寸的304材质真空室 |
1套 |
探针调整座 CPPS-ZK-402
| •位移方向XYZ三轴,采用交叉滚柱导轨,产品定向性能稳定 |
4套 |
气浮平台 CPPS-ZK-403 | •创谱光学隔振平台专门设计的水平减震机构，隔振基础采用二层气囊隔离，空气隔离器利用空气阻尼技术在各个方向上都提供了优异的减振性能，减振器自身的自然振动频率非常低，防止由瞬变干扰产生的摇摆 •稳定轻松调节，稳定可靠结构十分紧凑 |
1套 |
显微控制系统CPPS-ZK-404 | •配CCD采用USB连接电脑，分辨率2um ，500万像素 |
1套 |
真空获得系统CPPS-ZK-405 | •抽真空机械泵采用中韩合资型号TRP-36，9L/s抽速，自带防返油阀门，KF25接口，KF25排气口，配有油雾过滤器。极限真空度优于5Pa |
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配件 | 密封件1套，3微米针尖钨钢探针20支，探针臂陶瓷件2个等 | |
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