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如何使用手动探针台
时间:2021-12-25 09:04:45 阅读:4 来源:创始人

  1.将样品装入真空卡盘,打开真空阀控制开关,使样品安全并牢牢地吸附在卡盘上。

  2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清样品。

  3.利用夹头X轴/Y轴控制旋钮移动夹头平台,使待测样品在显微镜下移动。

  4.将显微镜切换到高倍率物镜,在高倍率下找到待测点,然后微调显微镜焦距和取样x-y,使图像调整清晰,测点在显微镜视场中央。

手动探针台

  5.待测点的位置确定后,再调整测头座的位置,测头安装好后,将测头移动到靠近待测点的位置,然后利用测头座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢将测头移动到被测点。此时动作要小心、缓慢,防止过度动作损伤芯片。当探针尖端悬空在被测点上方时,可以用Y轴旋钮将探针后退一点,再用Z轴旋钮将针头放下,最后用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少量划痕,证明是否被触碰过。

  6.确保针尖与被测点接触良好后,通过连接的测试设备即可开始测试。故障排除当你使用这个仪器时,你可能会遇到一些问题。