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如何使用手动探针台?
时间:2022-09-19 14:07:14 阅读:1 来源:创始人


      随着现代科技的发展,出现了探针台,如手动探针台、高低温探针台、晶圆探针台,本文主要介绍手动探针台。手动探针台已得到广泛应用,主要应用于半导体、微电子、光电子、太阳能等领域,但是有的人并不了解它,还不知道手动探针台怎么使用,下面我来给大家介绍一下。

手动探针台

它的使用主要分为六个步骤,分别为:

      1、将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品牢固地吸附在卡盘上。

      2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。

      3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。

      4、显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中间。

      5、待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,然后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。

      6、确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。

探针台

      以上就是如何使用手动探针台,希望以上的内容能够对大家有所帮助,如果还有什么不了解的,请大家多多关注我们网络平台,我们会发布更多资讯给大家。