探针台为研究和工程实验室在测试运行期间移动通过多个温度点时，提供前所未有的自动化水平。这种新技术使探针系统能够感知，学习和反应以多温度和特征的极其复杂的环境。随着集成电路产品不断进入汽车应用等更高发热量的环境，在越来越宽的温度范围内表征器件性能和耐用性变得越来越重要。以前，大多数芯片在两个温度点进行晶圆级测试，通常为20˚C(室温)和90˚C。现在，该范围已经扩大到-40˚C至125˚C，并且可能需要在此范围内的四个温度步骤中进行一整套测试。某些情况下需要更普遍的范围，如-55˚C至200˚C，晶圆可靠性测试可能要求高达300˚C的温度。在探针台上装上打点器，打点器根据系统的信号来判断是否给芯片打点标记。

　　半导体生产过程中的探测，可略分为三大类：

　　1.参数探测：提供制造期间的装置特性测量;

　　2.晶圆探测：当制造完成要进行封装前，在一系列的晶圆上(wafer sort)测试装置功能;

　　3.以探针台为基础的晶圆处理探测(Final Test)：在出货给顾客前，对封装完成的装置做后的测试。晶圆在通过基本的特性测试后，即进入晶圆探测阶段，此时需要用复杂的机器、视觉及软件来侦测晶圆上的每颗裸晶，精确度约在±2.0μm之间。将晶圆探针台的输入输出探针垫片(I/O pads)放在接脚和探针卡正确对应的晶圆后，探针台会将晶圆向上挪动，使其电气和连接于测试仪上的探针卡接触，以进行探测。当测试完成，则会自动将下一个待测晶圆替换到探针卡下面，如此周而复始地循环着。上海勤确科技有限公司陕西控温探针台厂家探针尖如果氧化，接触电阻变大。

　　如何将探针连接至待测点：

　　(1) 显微镜小倍数物镜下找到待测点(或附近的位置)，使待测点成像清晰。

　　(2) 确认定位器XYZ三轴均中间行程位置(即各轴导轨端面螺丝对齐)。Z轴也可略向上错开3mm左右。

　　(3) 安装并调节好探针的高度，侧向平视，观察探针与样品台(或样品)间的距离(大概5mm，或略小于5mm)。可通过调节探针臂或探针臂适配器的高度进行粗调定位。

　　(4) 移动定位器，将所有探针移动至显微镜光斑下。此时通过目镜观察可看到探针的虚影(探针成像未实体化)。

　　测试探针市场被国外厂商占据：众所周知，国内半导体产业与国际的差距是全部的，尤其是在好的领域，而好的芯片也是注重测试环节领域。因此，与好的芯片的供应情况一样，芯片测试及其测试治具、测试探针等市场均被欧美、日韩、等地区的厂商占据。长期以来，国内探针厂商均处于中低端领域，主要生产PCB测试探针、ICT测试探针等产品。

　　探针治具的校准：我们希望校准过程尽可能的把测试网络中除DUT外所有的误差项全部校准掉，当使用探针夹具的方式进行操作有两种校准方法：

　　一种方式是直接对着电缆的SMA端面进行校准，然后通过加载探针S2P文档的方式进行补偿;

　　第二种方法是直接通过探针搭配的校准板在探针的端面进行校准。是要告诉大家如果直接在SMA端面进行校准之后不补偿探针头，而直接进行测量的话会带来很大的误差。探针厂商一般都会提供探针的S2P文档与校准片。

　　12英寸晶圆在结构上具有更高的效率，以200mm工艺为例，在良率100%的情况下，可出88个完整的晶粒，理论上因方块切割所造成的边缘浪费率为23%(约有20个晶粒因缺角破损而无法使用);而若以300mm工艺进行切割，则产出效率将更惊人，可产出193个完整的晶粒，会浪费19%的晶圆面积(36个不完整晶粒)。此外，12英寸厂的规模经济优势也不容小视;300mm的建厂成本与200mm的建厂成本比值约为1.5，而晶圆厂建厂成本与晶圆面积的比值却少于2.25，这意味着只要多投入1.5倍的建厂成本，即可多生产2.25倍的晶粒!少少的边际投入即可获取的收益，约可节省33%的成本;如此高报酬的投资效益随着技术的发展而让人们受益。