利用探针台进行半导体表征参数的测量，离不开测试探针的使用目前有四种类型的探针：普通DC探针、同轴DC探针、有源探针和微波探针。在使用的过程中，探针表面有可能会沾上灰尘或者样品上的氧化层，继续使用可能会影响测试数据的可靠性。但报废的话，特别是微波探针，将大大增加用户耗材成本。在此，我们教大家三个方法，可轻松去除探针上的“顽渍”，延长探针耗材的使用寿命。

　　1、毛刷清洁法

　　适用范围：5微米以上探针，微波探针。不适用于针尖直径在5微米以下的软针。

　　拿一张A4白纸，撕成细长条的形状，最好是撕成细长的三角形形状(大概5cm高左右)。将待清洁探针装好到探针夹具上并置于显微镜下(体视显微镜即可，放大倍数太高无法操作)，利用撕下的纸片尖端作为毛刷，轻轻地将探针尖端的沾污物刷下。

　　2、压针清洁法

　　适用范围：所有探针，灰尘比较靠近探针尖端的情况。

　　拿一张A4白纸，裁成样品台大小(或适当的尺寸)，固定于样品台上。将待清洁探针装好到探针夹具上并置于显微镜下，慢慢下压探针，待探针接触到白纸后，向后移动探针，如下图所示方向。多尝试几次走到探针上的灰尘脱落。

　　3、超声清洁法

　　适用范围：所有探针。

　　取适量的蒸馏水置于烧杯内(烧杯大小以适合用户操作为宜)，并放到超声波清洗机内。打开超声波清洗机，然后手捏住探针(注意戴丁腈手套)，将针尖放入蒸馏水内，让震动把灰尘震落，可以隔一两分钟用显微镜观察一次，直到灰尘掉落为止。将探针放到适当的位置晾干后即可使用。请注意，若清洁微波探针，须将探针放置整晚晾干。