正确使用探针台可有效提高作业效率，减少误操作造成样品和探针耗材的损坏和丢失。本文向您展示如何使用手动探针台。主要包括如何使用显微镜进行观察和如何使用定位仪将探头贴在待测点上两个部分。

　　1.如何正确使用显微镜，用显微镜观察待测样品。

　　(1)打开显微镜光源，调整光源亮度。在显微镜光斑下移动待测样品(或待观察位置)。

　　(2)确保显微镜的调焦架在行程的中间，即调焦架的导轨对齐(如下所示)。如果有偏差，可以通过旋转对焦框的粗调旋钮来对齐。

　　(3)转动显微镜转塔，将物镜切换到最小放大率。如有必要，可先用气动开关将显微镜吊起，再进行切换。

　　“注意”双手握住炮塔侧环旋转(如下图箭头所示)。严禁直接拿着物镜旋转。

　　(4)旋转调焦架粗调旋钮，调节显微镜物镜与样品之间的距离(向上或向下)。在显微镜与样品对焦的过程中，目镜(装有摄像头和显示器)可以观察到样品的图像由模糊逐渐变为清晰。

　　“注意”操作粗调旋钮时，注意样品与物镜的距离，防止样品与待测样品碰撞损坏物镜。

　　如果物镜与样品之间的距离小于10mm，停止并向相反方向调整距离。

　　(5)转动显微镜转塔，切换到靶放大倍数，调整对焦框高度，完成操作，直至样品成像清晰。

　　(6)大功率操作时，可利用对焦架微调旋钮辅助调节显微镜高度，用显微镜对样品进行对焦。

　　“注意”如果对焦框处于极限行程位置，严禁使用微调旋钮，否则可能会对对焦框造成严重损坏。此时使用粗调旋钮，反方向操作。

　　2.如何将探头连接到待测点

　　(1)在显微镜最小多物镜下找到待测点(或位置附近)，使待测点成像清晰。

　　(2)确认定位器XYZ三轴中间行程位置(即各轴导轨端面螺钉对齐)。Z轴也可以向上略微交错约3mm。

　　(3)安装并调整探头高度，观察探头与样品台(或样品)的距离(约5mm，或略小于5mm)。

　　(可以通过调整探针臂或探针臂适配器的高度来进行粗略定位。)

　　(4)移动定位器使显微镜光斑下的所有探针移动。此时，通过目镜观察可以看到探头的虚影(探头成像未物化)。

　　(5)操作定位仪XYZ旋钮，将探头定位在待测点上方。此时可以调整Z轴，使探头尽可能靠近待测点，但不要将探头贴在待测点上(探头未物化)。

　　(6)向上转动显微镜气动升降开关，将显微镜升降至最高，再切换至靶倍率。把开关关小，使显微镜恢复到原来的位置。

　　“注意”在显微镜缓慢下降过程中，如观察到物镜与周围附件发生干涉，应立即拉起开关，将显微镜抬起。排除干扰后复位显微镜。

　　(7)操作XYZ定位旋钮，使测头准确定位在待测点上方。慢慢调整Z轴，慢慢降低探头。探针两侧虚影与针尖重叠时，探针即接触样品待测点。为确保良好的接触，可略微过压探针，观察到探针略向前移动即停止。